按照工作原理的區別對廢氣治理設備進行分類，可大致分為四種：種是廢氣處理吸收設備。它主要是利用一些不容易進行揮發的溶液對廢氣進行吸收并且進行分離的工作方法，對于這種設備可以進行回收再利用，所以它具有環保的功能。第二種是廢氣處理吸附設備。它主要是利用多孔物質對廢氣進行吸附并且使其進行脫落的過程，它的運行過程可以進行反復的操作，所以它的凈化廢氣的效果比較明顯。第三種是廢氣處理氧化催化設備。這種方法主要采用的是對這些廢氣進行氧化還原反應，生成水和二氧化碳，臭氧氧化處理工藝屬于此類，其原理是利用臭氧發生器產生足量的臭氧（氧化性*）注入反應室與廢氣分子發生反應，產生無害無臭的物質排出。第四種是廢氣處理低溫等離子設備。它主要運用的原理是在低溫的環境下對廢氣進行分離的過程。  

    由于廢氣種類不一，一些廢氣還需各種廢氣處理設備結合的方式來處理，達到滿意的排放效果。